電動可變泄漏閥（微小流量調節(jié)閥）——用于超高真空度控制
Electric Variable Leakage Valve (Micro-Flow Control Valve)
一、簡介
VLV2023系列可變泄漏閥是上海依陽公司新推出的一系列電控可變泄漏閥，可以連接到任何真空系統(tǒng)中，以建立可調節(jié)的泄漏和微小流量進氣，特別適合高真空和超高真空環(huán)境下的微流量進氣調節(jié)和超高真空度的準確控制。它提供了前所未有的控制靈敏度和穩(wěn)定性，泄漏率低至1×10-10TorrL/s。泄漏率或流量調節(jié)由0~10V模擬信號控制，可完全代替安捷倫公司和VAT公司的手動/自動可變泄漏閥產品。
可變泄漏閥的功能是在超低漏率條件下進行微小流量的精密調節(jié)，可通過兩種技術手段實現(xiàn)此功能：一是改變超低漏率閥門的開度大小，以控制流經氣體的流量；二是改變超低漏率閥門的進氣壓力大小，以改變流經氣體的流速。目前國外可變泄漏閥采用的都是調節(jié)開度法，而VLV2023系列可變泄漏閥采用的則是調節(jié)壓力法。調節(jié)開度法屬于一種純機械傳動機構，對可變泄漏閥門的加工制造、材質和磨損性能有著非?？量痰囊?，且運行速度較低和價格昂貴。而調節(jié)壓力法則屬于一種微機電機構，無摩擦部件，大幅降低了制造難度和成本。
二、技術指標
（1）最小泄漏率：1×10-10TorrL/s。
（2）泄漏變化率：隨著進口氣體壓力的增加，提供增加的變化率，從而提供成比例的精確控制。
（3）真空范圍：從大氣壓到低于10-11Torr。
（4）溫度范圍：連接處位置高達450℃。
（5）入口氣體壓力：最大1000psi（7MPa）。
（6）控制信號：0~10DVC。
（7）電源：24DVC。
（8）材質：304不銹鋼。
（9）重量：0.43kg。
三、尺寸和接線
四、典型應用
（1）超高真空度調節(jié)用安捷倫和VAT電動可變泄漏閥的國產化替代
（2）采用氦質譜檢漏儀測量MEMS密封件漏率和內部真空度的解決方案
（3）國產ChatGPT百度文心一言在超高真空度控制裝置研發(fā)中的應用探索
（4）皮拉尼計和電離規(guī)信號線性化處理技術在超高真空度精密控制中的應用
（7）環(huán)境可控原子力顯微鏡實現(xiàn)超高真空到常壓的可變壓力控制解決方案
（9）聚酰亞胺材料沿面閃絡特性測試系統(tǒng)中的真空度精密控制解決方案